產品分類
HVPE長晶爐——立式
所屬分類：
GaN單晶生長設備
概要：
本設備主要用于氮化鎵（GaN）單晶生長；
關鍵詞：
晶體提拉
HVPE長晶爐——立式
產品概述/Product Introduction：
本設備主要用于氮化鎵（GaN）單晶生長；
This equipment is mainly Used for the growth of galiumnitride(GaN)single crystal；Used for the epitaxial growth of gallium oxide （Ga2O3），
提供2英寸驗證工藝
Provide 2 inches validation process.
產品特點/Product Characteristics：
♦襯底:2-8英寸
Substrate size :2-8 inches
♦數量:1片/多片
Quantity:1pcs/multiple pcs
♦控溫精度:精度高，溫區穩定性好
Temperature control precision : High temperature control precision and good statlity in temperature zone.
♦結構:立式/臥式可選，滿足多種尺寸襯底多種操作方式需要
Structure: Vtica/horizontal structual is optional,can meet theneeds of customerswith various sizes ofsubstrates and variousoperation modes.
♦安全保護功能:硬件保護+軟件互鎖
Security protection: Hardware protection+software interlock
♦氮化鎵單晶生長尺寸: 2英寸
GaN single crystal growth size:2 inches
♦氮化鎵單晶生長速率:＞50微米/小時
GaN single crystal growth rate:＞50 microns/Hr
♦氮化鎵單晶層厚度:＜200微米
GaN single crystal layer thickness:＜200 microns
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